FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子內含氟之橡膠，依氟含量 ( 即單體構造 ) 而有各種類型。目前廣用的六氟化系氟橡膠*早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高溫性優于硅橡膠，有極佳的耐化學性、耐大部分油及溶劑 ( 酮、酯類除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性則較不良，一般使用溫度范圍為 -20~250 ℃。特殊配方可耐低溫至 -40 ℃。
優點：
· 可抗熱至 250 ℃
· 對于大部份油品及溶劑都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸類、脂族烴、芳香烴及動植物油
缺點：
· 不建議使用于酮類，低分子量的酯類及含硝的混合物。 · 汽車、機車、柴油發動機及燃料系統。
適用范圍:
· 化工廠的密封件。
全氟橡膠 FFPM
(Perfluoroelastomer) 優點：
· *佳耐熱特性
· 優異的抗化學特性
· 低Outgassing 特性
· 優異之抗Plasma特性
缺點：
· 耐低溫特性較差
· 原料價格較高
· 生產難度較高
適用范圍:
· 全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
硅氟橡膠
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡膠為硅橡膠經氟化處理，其一般性能兼具有氟橡膠及硅橡膠的優點；其耐油、耐溶劑、耐燃料油及耐高低溫性均佳，一般使用溫度為 -50~200 ℃。
優點：
· 適用于特別用途，如要求能抗含氧的化學物、含芳香氫的溶劑及含氯的溶劑的侵蝕。
缺點：
· 不建議暴露于煞車油，酮類及胼的溶液中 · 太空機件上。 |
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