四氟甲烷，亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。相對分子量：88.00。在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發(fā)性較高，是*穩(wěn)定的有機化合物之一，在900攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時， 會分解產(chǎn)生有毒氟化物，危險性類別為第2.2類不燃氣體。
用途
四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量*大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 |
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