VMU儀器特點
◆ 高端配置,超精密全自動測量,四軸CNC控制;
◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統;
◆ Renishaw開放式光柵尺,精度高、穩定性好;
◆ Navitar自動變倍光學鏡頭,可實現自動變倍測量;
◆ 全鼠標、手柄操作,簡單易用;
◆ 可程控6環8區環形表面光源,LED輪廓光源,同軸光源;
◆ 自動對焦測高,可加裝接觸式測頭;
◆ Vispec全自動影像測量軟件(高端版);
◆ 提供多種行程規格配置,如222、322、432、542等。
VMU技術參數
型號 VMU222 VMU322 VMU432 VMU542
行程(mm) 200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200
外部尺寸(mm) 1040×700×1620 1040×700×1620 1240×800×1620 1440×900×1620
重量(kg) 150 160 200 250
承重(kg) 25 25 25 25
測量精度 XY軸* E2=(2.0+L/300)µm E2=(2.5+L/300)µm
Z軸** E1=(5.0+L/200)µm
速度 XY軸 200mm/S
Z軸 100mm/S
光柵尺 Renishaw光柵尺,0.4µm分辨率
CCD SONY 1/2"CCD黑白/彩色
光源 輪廓光 LED冷光源,256級亮度可調
表面光 6環8區LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調
同軸光 LED冷光源,256級亮度可調
光學系統*** Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326
軟件 Vispec測量軟件(高端版)
運動控制 自主專利的CNC直流伺服系統
工作環境 溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%
振動<0.002g,低于15Hz
電源 220V/50Hz/10A
*L表示測量長度,以毫米為單位。
**Z軸的機械精度,聚焦的精度與工件表面有很大關系。
***放大倍率為近似值,具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。 |
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