VMU儀器特點
◆ 高端配置，超精密全自動測量，四軸CNC控制；
◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統；
◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩定性好；
◆ Navitar自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量；
◆ 全鼠標、手柄操作，簡單易用；
◆ 可程控6環8區環形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ Vispec全自動影像測量軟件（高端版）；
◆ 提供多種行程規格配置，如222、322、432、542等。
VMU技術參數
型號 VMU222 VMU322 VMU432 VMU542
行程(mm) 200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200
外部尺寸(mm) 1040×700×1620 1040×700×1620 1240×800×1620 1440×900×1620
重量(kg) 150 160 200 250
承重(kg) 25 25 25 25
測量精度 XY軸* E2=(2.0+L/300)µm E2=(2.5+L/300)µm
Z軸** E1=(5.0+L/200)µm
速度 XY軸 200mm/S
Z軸 100mm/S
光柵尺 Renishaw光柵尺，0.4µm分辨率
CCD SONY 1/2"CCD黑白/彩色
光源 輪廓光 LED冷光源，256級亮度可調
表面光 6環8區LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調
同軸光 LED冷光源，256級亮度可調
光學系統*** Navitar 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326
軟件 Vispec測量軟件（高端版）
運動控制 自主專利的CNC直流伺服系統
工作環境 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%
振動<0.002g，低于15Hz
電源 220V/50Hz/10A
*L表示測量長度，以毫米為單位。
**Z軸的機械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關系。
***放大倍率為近似值，具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。 |
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