SSTH系列中頻交流磁控濺射電源技術規格
SSHT系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒。SSTH系列中頻交流磁控濺射電源具備獨特的電弧抑制功能，有效克服電弧對膜層造成的瑕疵，預警系統實時顯示電源工作狀態，以便及時排除潛在問題。電源特別適用于大功率反應濺射膜層，如Low-E玻璃生產線及金屬非金屬卷繞鍍膜使用
電源功率范圍 30-120KW
輸入電源 AC380V三相四線制AC50-60HZ±10％
輸出方式 準正弦波
輸出頻率 40KHZ
輸出電壓 空載1100V[有效值]
輸出特性 橫流 恒壓 恒功率
滅弧時間 ≤3uS
輸出電流穩定率 0.25％
負載持續率 100%
冷卻方式 水冷
使用環境 環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好
冷卻水 清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水溫 20-30℃
壓力 0.15±0.05Mpa
說明：電源的輸出數據可根據使用需要作相應調整 |
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