自1970年Aerotech開(kāi)始研制*高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng),這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備,半導(dǎo)體加工,光子學(xué),數(shù)據(jù)存儲(chǔ),激光應(yīng)用,航空和國(guó)防,電子產(chǎn)品制造、測(cè)試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展,以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場(chǎng)應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值,我們的座右銘是:Dedicated to the Science of Motion。
ABRT超精密轉(zhuǎn)臺(tái)
1專為硅片檢測(cè),X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
3突出的速度穩(wěn)定性,波動(dòng)率低于萬(wàn)分之一(電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng))
4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
定位精度<2 arc sec
異步軸跳<20nm
異步徑跳<20nm
ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺(tái)
1. 為超高精度運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)。
2. 無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),可選更高速度和力矩電機(jī)。
3. 突出的速度穩(wěn)定性。
4. 卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5. 有效載荷達(dá)230 kg
6. 預(yù)裝有集流環(huán)
臺(tái)面直徑:146~260mm
反饋分辨率:0.02~4 arc sec
雙向重復(fù)定位精度0.5 arc sec
定位精度 2.5 arc sec
速度波動(dòng)率 0.0001%
ABRS超精密轉(zhuǎn)臺(tái)
ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)擁有一個(gè)低矮的外形輪廓,并且能夠提供出眾的角度定位精度,卓越的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動(dòng)誤差。ABRS精密轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測(cè),高精度測(cè)量,激光衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測(cè)和制造以及納米制造技術(shù)。
特點(diǎn):
1. 無(wú)刷無(wú)槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
2. 卓越的速度穩(wěn)定性(無(wú)齒槽效應(yīng))
3. 極佳的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
6. 氣浮軸承,無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑:128~278mm
反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec
雙向重復(fù)定位精度:<1arc sec
定位精度:2 arc sec
異步軸跳:20nm
異步徑跳:20nm
ADR系列精密轉(zhuǎn)臺(tái)
ADR系列直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)提供精確的角度定位和速度控制。應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測(cè)。
特點(diǎn):
1. 無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
2. 無(wú)齒槽設(shè)計(jì)提供卓越的速度穩(wěn)定性
3. 極佳的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 高精度機(jī)械軸承支撐
6. *大載荷可達(dá)150kg
臺(tái)面直徑:57~240mm
反饋分辨率:0.036~13 arc sec
雙向重復(fù)定位精度:1arc sec
定位精度:2 arc sec
軸跳:0.5um
徑跳:1um |
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