韓國(guó)MAT尾氣處理設(shè)備（Scrubber）適用于：薄膜太陽(yáng)能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導(dǎo)體、微電子中產(chǎn)生的廢氣.
處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下優(yōu)點(diǎn)：
1. 整機(jī)設(shè)計(jì)美觀, 安全標(biāo)準(zhǔn)。
2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)。
3．操作容易上手、保養(yǎng)簡(jiǎn)單快速、零料件經(jīng)久耐用，性價(jià)比高
4．燃燒反應(yīng)室可定時(shí)自動(dòng)清潔, 長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定。
System type
Heat-Wet
Features
* Easy Maintenance : Long PM term
* Vertical structure : Strong for powder clogging
* Reduced footprint
* High performance
Capacity & Dimensions
500SLM
700mm(W)x850mm(D)x1610mm(H)
Utility
Power(220V), CDA, N2, Water, Drain, Exhaust |
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