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供應(yīng)led專(zhuān)用爐

供應(yīng)led專(zhuān)用爐_青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司_供應(yīng)led專(zhuān)用爐

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公　司：青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

發(fā)布時(shí)間：2024年09月13日

有效期：2025年03月12日

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公司主頁(yè)：	http://frdwdz.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細(xì)說(shuō)明

LED專(zhuān)用爐主要滿(mǎn)足LED芯片制造行業(yè)，對(duì)圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。主要性能指標(biāo)：
外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)，水平爐管
工作溫度：200℃—1100℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：≥600mm
硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過(guò)沖平衡：載料進(jìn)爐，溫度平衡到工藝時(shí)間，低于10分鐘
工藝氣體及控制：氮?dú)狻⒀鯕猓琈FC或浮子流量計(jì)控制
氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S
送料機(jī)構(gòu)：懸臂石英桿載料，手動(dòng)
報(bào)警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警
控制方式：工控機(jī)總程控制、觸摸屏控制

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