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供應硅片真空退火爐高真空退火爐晨立電子科研爐氧化爐

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公　司：青島晨立電子有限公司

發布時間：2024年10月22日

有效期：2025年04月23日

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姜先生先生 (銷售經理)

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真：手　　機： 13954285618 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓郵　　編：
公司主頁：	http://m18612520901.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求

4、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。

5、自動化程度:工控機控制系統自動控制工藝流程
6、送取片方式:手動進出舟。

二、主要技術參數:
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區長度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機統一管理工藝
5、氣路設置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。

青島晨立電子有限公司主要產品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產線，進口半導體專用設備的翻新升級改造及各大專院校科研院所的非標研發定制工作。

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