超純水處理設備，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水處理設備又稱超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。隨著科學技術的不斷進步，我國藥典對醫藥用水的法定制備方法進行了重新定義。因其使用的范圍不同而分為純化水、注射用水，將過去的蒸餾水改為純化水，并且對純化水具體定義為"純化水為采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其它適宜的方法制得供藥用的水"。
超純水處理設備的工藝流程大致分成以下幾種
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點 三種制備工業用超純水的工藝比較目前制備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。超純水工藝流程圖 |
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