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片式真空等離子 半導體真空等離子 晶圓真空等離子清洗機 片式真空等離子 半導體真空等離子 晶圓真空等離子清洗機_深圳銘凱盛電子設備有限公司_片式真空等離子 半導體真空等離子 晶圓真空等離子清洗機

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公 司: 深圳銘凱盛電子設備有限公司
發布時間:2023年04月28日
有 效 期:2023年10月25日
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公 司:深圳銘凱盛電子設備有限公司

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詳細說明

    半導體應用案例
在線片式真空等離子清洗機在半導體行業中的應用主要包括以下幾個方面:




引線框架的表面處理
微電子封裝領域通常采用銅合金的材料引線框架的塑封形式,銅的氧化物與一
些有機污染物會影響粘接和鍵合的質量,經過等離子處理后,可提高引線框架
表面活化的效果,成品良率會極大的提高。相比較于傳統的化學藥水清洗,綠
色環保,有效控制生產成本。



芯片粘接前處理
芯片與封裝基板是兩種不同性質的的材料,如兩種材料表面的粘接性較差,
則會導致粘接過程中出現空隙,芯片封裝后易出現脫落等問題。通過芯片
和基板進行處理,極大改善粘接環氧樹脂的在其表面的流動性,減少芯片
與基板的分層,增加產品的穩定性和壽命。



引線鍵合前處理
集成電路打線鍵合區必須無污染物,并具有良好的鍵合特性,真空等離子
清洗后,有效去除鍵合區的表面臟污并使其表面活化,提高引線鍵合的拉
力,可以極大提高封裝器件的可靠性。



等離子處理前后樣品接觸角測試數據圖


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