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公 司: 煙臺益達電子科技有限公司
發布時間:2020年11月18日
有 效 期:2021年05月20日
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    微波等離子體化學氣相沉積微波氣相沉積3KW6KW微波等離子電源可調
PECVD:是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).可以沉積高質量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜等.

6KW 3KW 微波等離子體電源是根據微波等離子體氣相沉積實際生產操作中的實際要求進行訂制設計生產,符合產品生長要求,調節精度要求,歡迎淺談咨詢訂購測試。


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