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供應 半導體器件清洗設備 供應 半導體器件清洗設備_北京華林偉業電鍍器材有限公司_供應 半導體器件清洗設備

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公 司: 北京華林偉業電鍍器材有限公司
發布時間:2014年11月25日
有 效 期:2015年05月27日
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公 司:北京華林偉業電鍍器材有限公司

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詳細說明

    片盒清洗機—半導體器件清洗設備 1. 主要指標: 1.全自動形式。 2.外形尺寸3100×1400×2500(長×寬×高) 3.適用硅片:4寸(可根據客戶要求待定) 4.裝片能力:50片/批(2花籃,25片/花籃) 5.工作區潔凈度:100級 6.槽間工藝轉換時間:Tmax≤3.5s 2. 1.設備由五大部分組成:清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機。 2 .清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3. 關鍵件采用進口件,包括氣動閥,PFA管道、全氟循環系統,保證工作介質(酸、堿)的潔凈度,避免雜質析出。 4. 工藝過程全自動,機械手在槽間的轉換由兩套伺服系統控制,可存儲多條工藝時序,方便使用。 5. 除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成,適用連續批量生產。 6. 人機界面為觸摸屏,方便直觀; 界面中有故障報警,安全保護,工藝時序號等功能。 7.工作區設凈化裝置,內置高效過濾器,滿足工作區凈化要求(1000—100級,10級為特制)。


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