全新的Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統開發而來，采用了VMM 公司*先進的設計和技術。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項，使設備更加通用，耐用以及可靠。
擴展了Z軸范圍 2.5mm, 5mm or 100mm
透射照明
完整電子繪圖 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準
符合人體工程學的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調節高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合
全自動顯微鏡，所有設置計算機控制
*佳分辨率像素攝像頭
VIEW Metrology Software (VMS) 可測組件很廣泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差導入。
MMWin 晶圓片 和Mask計量軟件 晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
X,Y,Z行程(mm): 標準200 x 200 x 5 可選200 x 200 x 100
*大載重: 12 kg
XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
分辨率： 0.01 微米
視場測量精度和重復性：0.01 m (100x)
直流伺服馬達驅動
Precis 主要用于以下應用：
- 亞微米測量：
微器件和電子元器件封裝、引線框
微型球狀引腳柵格陣列封裝
硬盤驅動臂、探針卡、刀片
- CD 和套刻測量：
線寬、涂覆層
MEMS 器件、接觸窗、噴墨打印頭
硬盤驅動頭、磁頭等 |
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