Cryo-Plex 16低溫泵16英寸口徑
成熟的低溫泵設計 - 高容量和高性能
Cryo-Plex16低溫泵是一種高容量低溫泵，具有成熟的雙級冷頭設計（吉福德/麥克馬洪原理）高抽速捕捉水蒸汽和氣體，實現無油，高和超高真空。Cryo-Plex16低溫泵是專為大型真空應用，可靠性，性能和容量是非常重要的。
主要特點與優勢
單臺低溫泵解決方案
單獨一臺Cryo-Plex16低溫泵即可滿足容量和性能要求的許多大腔室應用。單臺低溫泵解決方案簡化了安裝和維護，提高工作效率和降低總成本，使Cryo-Plex16成為低溫泵箱涂層系統，空間模擬室和電子束鍍膜系統的*佳解決方案。
工業標準設計
Cryo-Plex16個進口法蘭配置符合行業標準的國際標準化組織（ISO）和CVC規格，可無縫集成到現有的工藝設施，方便與其他OEM冷泵交換。
靈活的配置
完備的生產線，低溫泵配件支持靈活的配置，以確保可靠性和*佳性能。Cryo-Plex16低溫泵基于行業標準或定制設計，可以安全地安裝在任何方向。硅二極管或氫蒸汽球（HVB）傳感器在第二階段測量溫度，以幫助控制再生過程中（雙二極管也可用）。
亮點
高容量，高性能的設計
可靠的高速無油的高和超高真空
二十年的歷史，成熟的技術和專業的設計
行業標準的兼容性，可無縫集成到現有設施
優化的監視和控制（可選）
全球銷售和24×7支持
美國制造
Cryo-Plex 16 技術參數
氣體抽速 (升/)
空氣 5,000
水蒸氣 16,000
氫氣 5,000
氬氣 4,200
氣體容量 – 標準升
氬氣 2,500 torr-liters
氫氣@ 5X10-6 15 torr-liters
吞吐量
氬氣 500 scc / minute
交叉 300 torr-liters
物理規格
重量 160 lb. (72.7 kg)
整體高度/法蘭標準 23.2 inches (58.9 cm) /CVC
23.1 inches (58.7 cm) / ISO
*大法蘭直徑/標準 18.0 inches (45.7 cm) / CVC
17.7 inches (44.9 cm) / ISO
進氣法蘭尺寸 / 標準 16 inch /CVC
NW 400 / ISO
冷卻時間(達到 20 K)
60 Hz 150 minutes
聯系人：
聶祿君 +86-21-56830192 +86-18201968671 |
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