【熱傳導(dǎo)系統(tǒng)】采用三明治結(jié)構(gòu)加熱板設(shè)計,上下鋁制加熱板內(nèi)置PID溫控模塊,熱傳導(dǎo)效率達92%。中間層為航空級PI薄膜承載臺,表面經(jīng)陽極氧化處理形成微米級孔隙結(jié)構(gòu),實現(xiàn)熱量均勻度±1℃。
【真空干燥機制】配置雙級旋片真空泵組,30秒內(nèi)可將腔體壓力降至5Pa以下。通過壓力傳感器與加熱系統(tǒng)的閉環(huán)控制,使溶劑沸點降低60-80℃,避免薄膜在高溫固化過程中產(chǎn)生氣泡缺陷。
【氣氛控制系統(tǒng)】集成氮氣純度分析儀與質(zhì)量流量控制器,維持氧含量≤50ppm的惰性環(huán)境。特殊設(shè)計的環(huán)形氣體分布器使保護氣體形成層流狀態(tài),有效阻隔空氣滲透。
【紅外監(jiān)測技術(shù)】采用8組波長在3-4μm區(qū)間的紅外傳感器陣列,實時監(jiān)測薄膜亞胺化程度。通過傅里葉變換算法將紅外吸收光譜轉(zhuǎn)化為固化度曲線,控制精度達到±2%固化率。
【安全防護體系】三重互鎖裝置包含:1) 門體機械鎖與真空聯(lián)鎖 2) 超溫磁簧開關(guān)保護 3) 壓力容器爆破片,符合ASME BPVC Section VIII標準要求。 |