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公 司: 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司 
發(fā)布時間:2024年09月13日
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電  話: 0532-68017157
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手  機(jī): 15314229122
地  址: 中國山東青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
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公 司:青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

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詳細(xì)說明

    ◆工作溫度:300~1300℃
◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定,可訂制
◆恒溫區(qū)長度:1080mm(可根據(jù)用戶要求定制)
◆溫區(qū)精度(靜態(tài)閉管測試):
600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試):
600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃/24h
◆溫度斜變能力:
可控升溫速度(300~1300℃):15℃/min
降溫速度(1300~900℃):5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度:±2%FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7PA.m3/s
◆自動送料裝置行程:~2000mm
速度:5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級(10000級廠房)
◆三相五線制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷卻水:2~4Kgf/cm2,~8


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