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遠程等離子體源(Remote Plasma Source,RPS) 遠程等離子體源(Remote Plasma Source,RPS)//遠程等離子體源(Remote Plasma Source,RPS)

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公 司: 天津吉兆源科技有限公司 
發布時間:2024年10月18日
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公 司:天津吉兆源科技有限公司

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詳細說明

    是一種用于產生等離子體的裝置,通常被用于在真空環境中進行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝,以及半導體刻蝕和薄膜設備的預處理反應和清洗等。與傳統等離子體源不同的是,RPS通常不直接接觸要處理的表面,而是在一定距離之外產生等離子體,并將等離子體輸送到目標表面,因此被稱為“遠程等離子體源”。



應用特征

采用新的固態微波源技術【非磁控管微波源】。具有很高的頻率、功率穩定性,使用壽命長。

自主開發的微波匹配器,能實現在不同氣體條件下,快速進行微波源與等離子體的阻抗匹配。

等離子體發生器材質可選,適用于多種氣體。

體積小、集成度高、便于更換。低顆粒污染;

獨特的等離子反應腔設計,適用于多種氣體的電離與阻抗匹配。

系統運行時,氣體壓力適應范圍寬。氣體電離率高、電離速度快。


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