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RCA清洗設(shè)備

RCA清洗設(shè)備//RCA清洗設(shè)備

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公　司：江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

發(fā)布時(shí)間：2021年07月29日

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電　　話(huà)： 0513-87291816 傳　　真：手　　機(jī)： 18012437416 地　　址：中國(guó)江蘇如皋市如皋市城南街道新源北路8號(hào)11號(hào)廠(chǎng)房郵　　編： 226500
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詳細(xì)說(shuō)明

主體構(gòu)造特點(diǎn)
主體:設(shè)備為半敞開(kāi)式，主體使用進(jìn)口 WPP15 和 10mm 厚板材，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長(zhǎng)期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏，機(jī)臺(tái)底盤(pán)采用德國(guó)產(chǎn)瓷白 PP板，熱焊接而成，可長(zhǎng)期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中.

骨架:鋼骨架+PP 德國(guó)勞施領(lǐng)板組合而成，防止外殼銹蝕.

安全門(mén):前側(cè)下開(kāi)透明安全門(mén)，腳踏控制.

工藝槽:模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤(pán)中.底盤(pán)采用滿(mǎn)焊接工藝加工而成，杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn).

管路系統(tǒng):位于設(shè)備下部，所有工藝槽、管路、閥門(mén)部分均有清晰的標(biāo)簽注明；藥液管路采用 PFA 管，純水管路采用白色 NPP 噴淋管，化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過(guò)專(zhuān)用管道排放.

電氣保護(hù):電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機(jī)臺(tái)頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護(hù)以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運(yùn)行穩(wěn)定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線(xiàn)路均經(jīng) PFA 防腐隔絕處理，電氣柜 CDA/N2 充氣保護(hù)其中的電器控制元件.

排風(fēng):后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計(jì)，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對(duì)操作員有安全保護(hù).

送風(fēng):設(shè)備頂部有 FFU 百級(jí)凈化送風(fēng)裝置，設(shè)備沿前側(cè)板鑲嵌入墻體，保證后上部送風(fēng)

水汽槍:機(jī)臺(tái)前部配備有 PTFE 純水槍和 PTFE 氮?dú)鈽尭?1 只置于右側(cè)，方便操作員手工清洗槽體或工件.

控制系統(tǒng)
PLC可程式控制器（歐姆龍）＋PROFACE 彩色人機(jī)界面操作。
模塊化軟件、硬件設(shè)計(jì)，減少故障幾率，便于安裝和維護(hù)；
空氣開(kāi)關(guān)、斷路器、電磁閥、按鈕、氮?dú)庹{(diào)壓閥，針閥、三色警燈等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產(chǎn)品，安全可靠；
配備漏電斷路保護(hù)、隔離變壓器、漏液檢測(cè)、EMO開(kāi)關(guān)等安全保護(hù)裝置；
所有程序參數(shù)可修改，操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng)，加液和花籃傳遞為手動(dòng)；
電路區(qū)功能分塊，強(qiáng)電、弱電塊，便于維護(hù)；
電氣控制部分均有清晰的標(biāo)簽注明
具密碼保護(hù)功能以避免操作人員誤改參數(shù)：
Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。
Password-2可進(jìn)入手動(dòng)模式。
Password-3可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。

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